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ASML光刻机欠火候：三星/台积电/GF 7nm EUV异常难产
三星/台积电的研究人员透露，在NXE-3400下光刻有两个棘手问题，或蚀刻掉的区域不足造成短路，或时刻掉的区域过量，导致撕裂。
快科技
2018/02/28 17:06
光刻机
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