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9月28日消息，据Tom'sHardware报道，俄罗斯科学院微结构物理研究所(由德米特里・库兹涅佐夫披露)公布了一项国产极紫外(EUV)光刻设备的长期路线图，该设备工作波长为2纳米，是对该机构去年12月披露信息的补充与延伸。

IT之家 2025/09/28 17:43 紫外 挑战 线图 路线 路线图 长期 光刻 紫外光 国产 罗斯 设备 公布 俄罗斯