英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂

2025/05/06 16:14 IT之家

　　5 月 6 日消息，英国南安普敦大学当地时间 4 月 30 日宣布开设全球第二家电子束光刻工厂。这是日本境外的首座同类设施，也是欧洲首个尖端半导体工厂。

　　根据IT之家的了解，不同于现有的主流商用技术路线 —— 激光图案化，电子束光刻以高能电子对光刻胶进行曝光，绘制出半导体电路图案。

　　电子束光刻技术具备优秀的分辨率，可不经过掩膜直写，但也存在着效率较低、控制复杂等的弱点，在实际商业生产中通常被用在掩膜制作这一辅助工艺中，不以核心工艺技术出现。

　　出席活动的英国科技部国务大臣 Patrick Vallance 表示：

　　英国拥有一些世界上最令人兴奋的半导体研究成果，南安普敦的新电子束设施将极大地提升我们国家的能力。

　　通过对基础设施和人才两方面的投资，我们为研究人员和创新者提供在英国开发下一代芯片所需的支持。

IT产业网微信二维码logo

　　行业资讯、企业动态、业界观点、峰会活动可发送邮件至news#citmt.cn（把#换成@）。

海报生成中...

分享到微博分享到微信一键复制

标题链接已成功复制